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Jin
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KSLF-30WY20/63/100/N 全自動SF6リサイクル分離精製装置 純度99.99％
| 浄化効率: | 99.99％SF6濃度 |
|---|---|
| 処理能力: | 6-20nm³/h（モデル依存） |
| ろ過精度: | 0.1μmの粒子、≤3ppmの湿気 |
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