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高精度SF6 + CF4混合ガス分析機,精度の比率測定とGISシステム用のオプション露点モジュール
| SF6濃度: | 0 ~ 100% 精度: ±0.5% (最適化範囲では最大 ±0.2%) 分解能: 0.01% |
|---|---|
| CF4濃度: | 0 ~ 100% (または混合物に依存する校正) 精度: ±0.5% 分解能: 0.01% |
| 酸素 (O2): | 0 ~ 1% 精度: ±5% FS 分解能: 0.01% |
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