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KSLF-30WY20/63/100/N 全自動SF6リサイクル分離精製装置 純度99.99%
| 浄化効率: | 99.99%SF6濃度 |
|---|---|
| 処理能力: | 6-20nm³/h(モデル依存) |
| ろ過精度: | 0.1μmの粒子、≤3ppmの湿気 |
完全自動リサイクル、分離、および精製装置。99.99%のSF6を回収可能。
| 浄化効率: | 99.99%SF6濃度 |
|---|---|
| 処理能力: | 30-100m³/h(モデル依存) |
| ろ過精度: | 0.1μmの粒子、≤3ppmの湿気 |
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